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供應(yīng) 四氯化硅成套處理系統(tǒng),四氯化硅處理它 /www.hblgzp.net  |
規(guī) 格: |
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價(jià) 格: |
電議/ |
數(shù) 量: |
客戶要求 |
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發(fā)布時(shí)間: |
2017-08-30 |
有效期: |
0天 |
備 注: |
四氯化硅處理成套系統(tǒng)
一、概述
四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)是專門應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)線的尾氣回收裝置,利用本回收系統(tǒng)將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸,本系統(tǒng)已獲國(guó)家專利,經(jīng)產(chǎn)品投放市場(chǎng),取得了良好的經(jīng)濟(jì)效益。
生產(chǎn)多晶硅是一個(gè)提純過(guò)程,主要原料是三氯氫硅,再用氫氣進(jìn)行一次性還原,這個(gè)過(guò)程中約有25%的三氯氫硅轉(zhuǎn)化為多晶硅,其余大量進(jìn)入尾氣,同時(shí)形成副產(chǎn)品——四氯化硅。四氯化硅是高危產(chǎn)品,遇空氣遇水會(huì)產(chǎn)生對(duì)人體有害的氯化氫氣體。在這個(gè)過(guò)程中,如果回收工藝不成熟,三氯氫硅、四氯化硅、氯化氫、氯氣等有害物質(zhì)極有可能外溢,存在重大的安全和污染隱患。而且多晶硅與四氯化硅的生成比例為1:15,即生產(chǎn)一噸多晶硅,就需要處理15噸的四氯化硅,處理量非常大。目前國(guó)內(nèi)處理多晶硅在技術(shù)上已經(jīng)開創(chuàng)出了兩個(gè)方式,一是將四氯化硅熱氫化后再生成生產(chǎn)多晶硅的原料,可以回收利用一部分四氯化硅,但不能徹底回收,還是會(huì)產(chǎn)生污染。第二種方法就是通過(guò)化工工藝將四氯化硅轉(zhuǎn)化成高附加值的化工產(chǎn)品,即無(wú)毒無(wú)害的二氧化硅,我公司經(jīng)過(guò)幾年的實(shí)踐與應(yīng)用,成功地將本技術(shù)應(yīng)用于本行業(yè)中,將尾氣“變廢為寶”。
二、工作原理
(1)、四氯化硅提純:
因四氯化硅中含有一些雜質(zhì),為了得到品質(zhì)高的二氧化硅和鹽酸,將四氯化硅在蒸發(fā)器中蒸發(fā),再經(jīng)精餾塔提純,使其得到純度非常高的四氯化硅氣體。
(2)、四氯化硅水解:
純的四氯化硅氣體進(jìn)入到水解塔內(nèi),同時(shí)循環(huán)液通過(guò)泵的作用使循環(huán)液均勻分布到各個(gè)霧化器當(dāng)中,通過(guò)霧化器向下噴淋。與進(jìn)入水解塔內(nèi)的四氯化硅發(fā)生反應(yīng),形成硅酸及氯化氫氣體。
(3)、二氧化硅的形成:
硅酸進(jìn)入壓濾系統(tǒng)進(jìn)行壓濾成為濾餅,再進(jìn)入干燥機(jī)干燥后形成純度為99.85%的二氧化硅。
(4)、回收鹽酸:
氯化氫氣體進(jìn)入降膜回收裝置,氣體與水反應(yīng)生成鹽酸。同時(shí)冷卻水進(jìn)入本裝置內(nèi)對(duì)氯化氫進(jìn)行冷卻,以增加氯化氫的回收效率。
沒有反應(yīng)完的氯化氫氣體再進(jìn)入下一級(jí)吸收塔內(nèi),再進(jìn)行一次鹽酸的回收,最后氣體達(dá)標(biāo)排放。
三、技術(shù)規(guī)格性能參數(shù)
本回收處理系統(tǒng)需根據(jù)多晶硅的生產(chǎn)量及具體情況進(jìn)行有針對(duì)性的設(shè)計(jì)選型,詳情請(qǐng)與我廠聯(lián)系。
本系統(tǒng)可配備氣體在線分析儀、PH控制計(jì)、差壓變送器、壓力傳感器、流量傳感器、液位控制計(jì)、固體懸浮物濃度計(jì)、電磁閥、變頻器及控制柜等組成的控制系統(tǒng),以上控制情況均以數(shù)字形式顯示在顯示器界面上,使管理人員一目了然,并有故障報(bào)警,便于管理與維護(hù)。自控系統(tǒng)可根據(jù)用戶要求進(jìn)行手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)控制設(shè)計(jì)。 |
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